SHRPSY 专注为客户提供半导体离子注入石墨件. 多年来一直持续向终端客户及合作商提供稳定的离子注入石墨零件.
同时也配套提供陶瓷/BN/钨钼等材料零件. 我们可提供零件相应设备: Varain / Amat / Axcelis / Eaton / Quantum / Nission
SHRP 提供特殊材料坩埚,广泛用于电子束蒸发等领域,有非常高的性价比!可根据用户要求定做任意尺寸,交期迅速…
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PG 特殊渗透材料坩埚 使用注意事项
禁止直接徒手接触材料,不可进行清洗.
因为材料属于易碎材质,在拿放时需要尽量保持轻拿轻放. 避免过大力量使其产生微裂纹.
尽量保持在洁净干燥的环境中打开并使用.
坩埚使用时建议在设备内抽真空烘烤10~20min. 温度建议120~200度左右.
坩埚在使用时应尽量保持其位置位于铜衬居中的位置,避免偏置.以免产生热应力不匀等影响.
建议蒸发金属材料体积不要超过坩埚内容积的80%,密度轻易膨胀的材料应适当调整或减少.以免材料过量在蒸发的过程中产生溢出现象.
在每一轮蒸发完成时保持坩埚内金属的残余量至少在20%或以上.以免高能的电子束直接打在坩埚本体上,减少坩埚的使用寿命.
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SHRP 可为客户 提供半导体设备特殊部件装夹治具. 我们不限于石墨材料本身,包括超高纯单晶硅,碳化硅在内的相应难加工材料的制造方案. 为客户在寻找可替代方案提供非常好的选择…
高纯氮化硼以其优良稳定的特性,一直被广泛用于高洁净环境中. 上海仁朋提供SG高品质的氮化硼产品,广泛应用于Varain,Axcelis,Nisson 结构件
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